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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1G-TRAN系列是基于（1）降低設備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計，用于集中過程控制和各種設備的小型化。它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應用進行組合。
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
G-TRAN系列是基于（1）降低設備成本、（2）節(jié)省空間、（3）節(jié)省布線的概念開發(fā)的真空計，用于集中過程控制和各種設備的小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成，可以根據(jù)應用進行組合。
特征
探頭與測量電路一體化結構
模擬輸出和設定值輸出
獨立的偽對數(shù)輸出和設定值輸出（顯示單元）
采用 48 x 96mm DIN 標準尺寸（顯示單元）
用途
用于半導體和電子零件等各種制造設備的過程控制
用于熔爐等各種工業(yè)設備的過程控制
用于在線式和單晶片式等具有許多工藝室的各種制造設備的工藝控制
日本ulvac冷陰極電離真空計 SC1
規(guī)格
| 類型 | 傳感器單元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自適應探頭 | C-21、23、24、25 | ||
| 測量壓力范圍 | 1.0×10 -5至 1.0 Pa | ||
| 測量精度 | +100%，-50%（1.0×10 -4到 1.0×10 -1） | ||
| 工作溫度限制 | 10～40℃ | ||
| 測量值輸出 | 非線性輸出：DC0V 至 10V（HV-OFF 時為 10V） | ||
| SETPOINT1/2 調整輸出 | 非線性輸出：0 至 10V DC | ||
| 控制輸入信號 | 高壓開/關 | ||
| 輸出信號 | 集電極開路，負邏輯 | ||
| 控制輸出信號 | 放電確認/設定點 1/2 | ||
| LED顯示屏 | 功率、高壓、壓力保護、設定點 1/2 | ||
| 電源 | DC24V±2V, 150mA | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub-15 針（M2.6 螺絲） | ||
| 身體質量 | 430g（不含觸控筆） | ||
| 配件 | 輸入/輸出連接器 1套 | ||
| 1份快速手冊 |
