2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω技術(shù)解析

發(fā)布日期：2021-09-28      瀏覽次數(shù)：1443

2ω法納米薄膜導(dǎo)熱儀TCN-2ω技術(shù)解析



該裝置是目前世界上唯yi使用2ω法測(cè)量納米薄膜厚度方向熱導(dǎo)率的商用裝置。與其他方法相比，樣品制作和測(cè)量更容易。

用

• 量化低K絕緣膜的熱阻，用于半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計(jì)

• 絕緣膜的開(kāi)發(fā)與散熱的改善

• 熱電薄膜應(yīng)用評(píng)價(jià)

特征

• 可以測(cè)量在厚度方向上形成在基板上的 20 到 1000 nm 的薄膜的熱導(dǎo)率。

• 使用熱反射法通過(guò)溫度幅度檢測(cè)實(shí)現(xiàn)測(cè)量

• 測(cè)量樣品的簡(jiǎn)單預(yù)處理

規(guī)格

測(cè)量溫度	轉(zhuǎn)播時(shí)間
樣品尺寸	寬度 10 毫米 x 長(zhǎng)度 10 至 20 毫米 x 厚度 0.3 至 1 毫米（板）
測(cè)量氣氛	在真空中