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磁控離子濺射儀是電子顯微鏡（SEM/TEM）樣品制備、半導(dǎo)體檢測及材料研究的關(guān)鍵設(shè)備。日本Shinkuu（真空）系列濺射儀憑借高精度鍍膜、多樣化靶材支持以及不同型號適配各類應(yīng)用場景，成為科研和工業(yè)領(lǐng)域的優(yōu)選。以下為選型關(guān)鍵要點(diǎn)及推薦型號：
觀察倍率需求
低倍率（1,000~10,000倍）：Au靶（金）或Au-Pd（金鈀）鍍膜，適用于常規(guī)SEM觀察。
中高倍率（10,000~100,000倍）：Pt（鉑）或Pt-Pd（鉑鈀）鍍膜，顆粒更細(xì)，成像更清晰。
超高倍率（100,000倍以上）：W（鎢）靶，粒徑極細(xì)，適用于納米級分辨率觀察。
樣品類型與尺寸
小型樣品（SEM/TEM）：MSP-mini或MSP-1S，適用于φ30mm以下樣品。
4英寸晶圓或大尺寸樣品：MSP-20MT（4英寸）或MSP-200in/MSP-300in（8/12英寸晶圓）。
復(fù)雜結(jié)構(gòu)樣品（如生物樣本）：需考慮Os（鋨）鍍膜機(jī)，因其優(yōu)異的環(huán)繞性。
自動化與操作便捷性
一鍵式操作：MSP-mini、MSP-1S適合快速鍍膜需求。
全自動功能：MSP-20UM（可編程自動鍍膜）、MSP-40T（渦輪泵高真空自動沉積）。
真空系統(tǒng)與冷卻方式
基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)室：內(nèi)置旋轉(zhuǎn)泵（MSP-1S）。
高真空需求：渦輪分子泵（MSP-40T）。
防止樣品熱損傷：風(fēng)冷磁控靶（MSP-20TK）。
| 型號 | 關(guān)鍵特點(diǎn) | 適用場景 | 推薦靶材 |
|---|---|---|---|
| MSP-mini | 超小型設(shè)計(jì)，一鍵操作，低成本運(yùn)行 | 光學(xué)顯微鏡（Ag）、臺式SEM預(yù)處理 | Au（標(biāo)準(zhǔn)）、Ag（可選）35 |
| MSP-1S | 內(nèi)置旋轉(zhuǎn)泵，緊湊型，適合貴金屬鍍膜 | SEM樣品（50,000倍以下） | Pt、Au、Au-Pd2 |
| MSP-20UM | 可調(diào)參數(shù)，傾斜旋轉(zhuǎn)樣品臺，全自動鍍膜 | 復(fù)雜形狀樣品、高精度SEM觀察 | Pt、Pt-Pd、W1 |
| MSP-20TK | 專為鎢濺射優(yōu)化，支持超高分辨率SEM（100,000倍以上） | 納米材料、高分辨電鏡樣品 | W（鎢）1 |
| MSP-200in | 8英寸晶圓鍍膜，提高檢測效率 | 半導(dǎo)體制造、大面積樣品 | Au、Pt、ITO1 |
| MSP-300in | 12英寸晶圓鍍膜，工業(yè)級應(yīng)用 | 集成電路（IC）檢測 | 多種金屬靶材1 |
| MSP-40T | 高性能實(shí)驗(yàn)室沉積，支持多種金屬（Ti、Al、ITO等），渦輪泵高真 | 前沿研究、高純度薄膜 | 多金屬可選4 |
實(shí)驗(yàn)室常規(guī)SEM樣品：MSP-1S（性價(jià)比高）或MSP-20UM（功能全面）。
超高分辨率觀察：MSP-20TK（鎢靶）或MSP-40T（多金屬支持）。
半導(dǎo)體/晶圓鍍膜：MSP-200in（8英寸）或MSP-300in（12英寸）。
快速簡易操作：MSP-mini（超小型，一鍵鍍膜）。
