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oval熱式質(zhì)量流量計的測量原理
熱式質(zhì)量流量計由主流路、旁通流路、設(shè)置在主流路中的加熱器和溫度傳感器（流量傳感器）以及設(shè)置在旁通流路中產(chǎn)生流量的層流元件構(gòu)成。主要流路 由作為主要單元的主體和處理來自流量傳感器的質(zhì)量流量信號的電路等組成。控制器將如上配置的質(zhì)量流量計與電磁閥組合成流量控制部分。（根據(jù)規(guī)格，某些型號有單獨的電磁閥。）
主要流動路徑是毛細管，連接到該毛細管的兩個溫度傳感器形成橋式電路的一部分。當(dāng)流體流經(jīng)毛細管時，兩個溫度傳感器之間會產(chǎn)生與質(zhì)量流量相對應(yīng)的溫差，溫度傳感器檢測到的溫差會改變橋式電路的平衡，因此會產(chǎn)生與流量相對應(yīng)的電信號得到了?？梢宰龅摹Ｓ捎谠趦蓚€溫度傳感器之間放置了一個加熱器，因此可以將橋式電路檢測到的溫差輸出作為穩(wěn)定的質(zhì)量流量輸出。溫差輸出轉(zhuǎn)換成電壓，放大后成為輸出信號?？刂破鲗﹄娐凡糠值牧髁枯敵鲂盘柡土髁吭O(shè)定信號進行比較計算，并將差值控制為零。
熱式質(zhì)量流量計的特點
1.可直接測量質(zhì)量流量
2.無活動部件
3.甚至可以測量非常小的流量等等。
此外，由于熱式質(zhì)量流量計的測量原理，必須注意以下幾點。
1.測量對象有限制（氣體和液體的流量非常?。?/span>
2.抗污能力弱（適用于清潔流體）
3.不同的流體有不同的傳感器靈敏度（如果流體的類型不能固定，就不能進行正確的測量）
然而，用于測量微小流量的熱式質(zhì)量流量計預(yù)計在未來將越來越流行，主要用于半導(dǎo)體制造過程中的采樣、混合和稀釋。
